超精密不锈钢工作台是由于直线运动驱动装置的设计和制造相对滞后，以来不得不借助于旋转电动机的旋转运动，经过机械传动和转换装置来获得直线运动，产生单向位移或是双向往复位移。国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。

超精密气浮定位不锈钢工作台的简介，针对上述问题，为实现高性能、高集成、高效率以及低成本的生产，世界上各IC设备厂商加大研发投资，研制新一代高速高精的超精密定位运动工作台。其中，基于气浮支承技术和直线电动机驱动技术的超精密、长行程气浮定位工作台，是精密定位工作台的一种新型结构。

它克服了传统定位工作台(旋转电动机+滚动丝杠+滚动或油膜滑动轴承)行程短、响应滞后大、存在摩擦等不足，实现了长行程高速运动和精确定位功能，代表着超精密、长行程定位工作台的发展方向，在半导体光刻设备、精密测量和生物医学等领域中具有十分广泛的应用前景。

不锈钢工作台超精密气浮定位工作台的研制水平落后于技术发达国家至少10～15年，国内较为先进的Ic生产线也全是依靠进口的。由于技术发达国家对我国实行技术限制和技术壁垒政策，进口的超精密气浮定位工作台也比国外先进的定位工作台，因此我国的Ic设备生产基本受制于人。为掌握超精密气浮定位工作台的核心技术，提高尖端超精密机械的自主研发能力，突破发达国家对我国在超精密气浮定位工作台方面的技术封锁，对超精密气浮定位工作台技术进行自主研究具有十分重大的现实意义和经济意义。

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