不锈钢工作台的精密加工和精密测量工艺装备对定位工作台提出了高精度、高速度、长行程的技术要求，因此对定位工作台材料的选用也有非常高的要求。材料的选用直接影响着定位工作台的性能，采用低密度、非磁性和高刚度材料的趋势越来越明显。

理论研究与实验研究表明，精密定位工作台采用低密度、高刚度的材料制造，可以减轻系统的质量，提高整个系统的刚度，从而提高定位工作台的动态性能。
为此，不锈钢工作台通常采用氧化铝陶瓷、碳化硅等密度小、杨氏模量大的材料制作导轨，而在定位工作台的测量系统中常用殷钢制作基座。殷钢是由63．8％的铁、36％的镍以及0．2％的碳所组成的合金，其膨胀系数很低，通常称为“不胀钢”。
在微电子加工和精密定位设备中，该类材料是制造对散热、尺寸等要求严格的工作台的极佳材料之一。不锈钢工作台基准反射镜的材料采用零膨胀玻璃。由于Zerodur(微晶玻璃材料的一种)具有低膨胀系数和良好的加工性能，因此常用来加工定位工作台的测量部件和其他重要零件。

文章由：不锈钢装饰条www.xmsbxg.com佛山市鑫茂盛金属制品有限公司整理提供，此文观点不代表本站观点